[エピイーエル マッピング システム]

LED検査システム

EpiEL Mappingシステムは、エピウエハーから直接LEDデバイスのパラメータ測定にも使用できる仮想LEDデバイスの構築・解析システムです。膨大な費用と時間を使ったデバイス製造を必要とせず、電気ルミネッセンス(EL)のみならず素子の電気特性も測定できます。

オプトエレクトロニクスの研究開発を可能にするシステム

• エピウエハーのデバイス特性測定が可能です
• 素子を壊すことなく迅速に電気ルミネッセンスとウエハーレベルのマッピング化が可能です
• 素子開発に必要な早いフィードバックを行います
• ファブレス素子とシステムの開発に力を発揮します

工業製品開発に必要な工程監視と品質管理の最適化します

• レシピ変更に伴う工程とシステムの最適化に必要な素早いフィードバックを行います
• 素子製造直後のデバイス品質の管理を可能にします
• ウエハーの評価・選別からデバイス選別まで幅広い特性解析を可能にします